СИНОНИМЫ
Трифторметан, trifluoromethane, carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23; R23
ПРИМЕНЕНИЕ
Хладон 23 используется в качестве реагента для сухого травления при изготовлении интегральных микросхем.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
|
МАРКА |
2.8 |
5.0 |
|---|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,8 % |
99,999% |
|
Примеси: |
||
|
Дифторхлорметана и трифторхлорметана в сумме |
< 0,2 % |
— |
|
Вода |
< 0,002 % |
< 5 ppm |
| Азот | — | < 10 ppm |
| Кислород | — | < 5 ppm |
| Диоксид углерода | — | < 2 ppm |
| Общие углеводороды по метану | — | < 1 ppm |
| Другие галогенуглеводороды | — | < 5 ppm |
| Кислотность по HF | — | < 0,1 ppm |
| Стандарт/ТУ | ТУ 6-02-1321-85 изм.1, 2, 3, 4 |
ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
Общая характеристика |
без цвета и запаха, негорюч, невзрывоопасен, малотоксичен |
||
|
Молекулярная масса |
70,01 г/моль |
CAS № |
75-46-7 |
|
Давление паров при 20° С |
4,38 МПа |
№ ООН |
UN1984 |
|
Температура кипения |
— 82,2° C |
КЭМ |
23 |
|
Температура плавления |
— 155,15° C |
Класс опасности груза |
2.2 |
|
Критическая температура |
25,85 °C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
4,82 МПа |
УПАКОВКА
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~20 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.



