SiliconPure
1 000 руб.
Синонимы: Silicon tetrachloride, тетрахлорсилан, силикохлороформ
ПРИМЕНЕНИЕ
Тетрахлорид кремния используется в производстве поликристаллического, полупроводникового кремния, эпитаксиальных кремниевых структур, а также синтетического диоксида кремния и кремнийорганических соединений.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
|
Компонент / марка |
марка 5.5 высокоомный |
|---|---|
|
Тетрахлорид кремния |
99,9995 % (без учета других хлорсиланов) |
|
Другие хлорсиланы |
< 0,005 % (для справки) |
|
Удельное сопротивление эпитаксиальной пленки |
> 1200 Ом·см (для справки) |
|
Хлорметил |
< 0,2 ppm |
|
Дихлорметан |
< 0,2 ppm |
|
Трихлорметан |
< 0,2 ppm |
|
Хлорэтил |
< 0,2 ppm |
|
Метан |
< 0,1 ppm |
|
Этан |
< 0,1 ppm |
|
Пропан |
< 0,1 ppm |
|
н-Бутан |
< 0,1 ppm |
|
Гексан |
< 0,1 ppm |
|
Бензол |
< 5 ppm |
|
Алюминий |
< 0,3 ppb |
|
Железо |
< 2 ppb |
|
Никель |
< 0,3 ppb |
|
Медь |
< 0,2 ppb |
|
Титан |
< 0,3 ppb |
|
Кальций |
< 2 ppb |
|
Хром |
< 0,3 ppb |
|
Марганец |
< 0,1 ppb |
|
Свинец |
< 0,2 ppb |
|
Олово |
< 0,2 ppb |
|
Сурьма |
< 1 ppb |
|
Магний |
< 2 ppb |
|
Цинк |
< 10 ppb |
|
Фосфор |
< 1 ppb |
|
Бор |
< 0,1 ppb |
|
Мышьяк |
< 0,5 ppb |
Продукция соответствует ТУ 2152-008-16424433-2007
ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
Общая характеристика |
Бесцветная прозрачная дымящая на воздухе, негорючая, коррозионная, высокотоксичная жидкость с резким удушливым запахом. | ||
|
Молекулярная масса |
169,9 г/моль |
CAS № |
10026-04-7 |
|
Давление пара при 20° C |
- 0,77 бар изб. |
№ ООН |
UN1818 |
|
Температура плавления |
- 68,9° C |
КЭМ |
234КЭ |
|
Температура кипения |
57,6° C |
Класс опасности груза
|
8 |
|
Критическая температура |
233° C |
Знаки опасности | |
|
Критическое давление |
3,75 МПа |
УПАКОВКА
Наполнение производится в контейнеры любого размера, оборудованные входом и выходом по газовой и жидкой фазе, или баллоны.
