ГАЗОВЫЕ СМЕСИ ФОСФИНА С АРГОНОМ
1 000 руб.
Синонимы: Phosphine argon gas mixture
ПРИМЕНЕНИЕ
Газовые смеси фосфина (PH3) с аргоном применяют в производстве полупроводниковых материалов как легирующий агент n-типа.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
|
Марка |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Объемная доля фосфина, %* |
50±5 |
20±2 |
15±1 |
10±1 |
6±1 |
3±0,6 |
1,5±0,5 |
0,1-0,5 |
0,005-0,015 |
|
Примеси | |||||||||
|
Углеводороды в пересчете на метан, не более |
5 ppm |
2 ppm |
1,5 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
|
Азот, не более |
50 ppm |
50 ppm |
50 ppm |
50 ppm |
50 ppm |
30 ppm |
30 ppm |
30 ppm |
30 ppm |
|
Диоксид углерода, не более |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
|
Кислород, не более |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
|
Водяные пары, не более |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
|
Содержание металлов, менее |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
|
Показатели качества компонентов стандартных смесей* |
Фосфин |
Аргон |
|
Основное вещество |
99,9998 % |
99,998% |
|
Аргон |
< 0,5 ppm | |
|
Кислород |
< 0,1 ppm |
< 2 ppm |
|
Азот |
< 1 ppm |
< 10 ppm |
|
Вода |
< 1 ppm |
< 3 ppm |
|
Метан |
< 0,1 ppm |
< 1 ppm |
|
Этан |
< 0,1 ppm | |
|
Пропан |
< 0,1 ppm | |
|
Диоксид углерода |
< 0,1 ppm |
< 0,2 ppm |
|
Оксид углерода |
< 0,1 ppm | |
|
Водород |
< 2 ppm | |
|
Арсин |
< 0,1 ppm |
Аргон |
|
Металлы |
< 0,1 ppb |
* Возможно использование компонентов иной чистоты, других газов разбавителей, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу
Продукция соответствует ТУ 2114-006-16424433-05
ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
Общая характеристика |
Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный, взрыво- и пожароопасный при концентрации фосфина выше 0,25%, токсичный. | |||
|
фосфин |
аргон | |||
|
Молекулярная масса |
34 г/моль |
40 г/моль |
№ ООН |
1953 |
|
Температура кипения |
- 87,4 °C |
- 185,9 °C |
КЭМ |
15 ДЭ |
|
Температура плавления |
- 132,5 °C |
- 189,6 °C |
Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015) |
2.3 + 2.1 |
|
Критическая температура |
51,3 °C |
- 122,5 °C |
Знаки опасности | |
|
Критическое давление |
6,54 МПа |
4,86 МПа |
УПАКОВКА
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (2 куб. м). Возможно наполнение баллонов другого объема.
