ГАЗОВЫЕ СМЕСИ ФОСФИНА С ВОДОРОДОМ
1 000 руб.
Газовые смеси фосфина (PH3) с водородомприменяют в производстве полупроводниковых материалов
|
МАРКА |
1 |
2 |
3 | |
|
Сорт 1 |
Сорт 2 | |||
|
Объемная доля фосфина, % |
10±1 |
10±1 |
0,24-0,16 |
0,005-0,001 |
|
Примеси* | ||||
|
Углеводороды в пересчете на метан, не более |
1 ppm |
5 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
|
Кислород и аргон, не более |
50 ppm |
100 ppm |
50 ppm |
50 ppm |
|
Азот, не более |
0,05 % |
0,5% |
50 ppm |
50 ppm |
|
Диоксид углерода, не более |
30 ppm |
50 ppm |
30 ppm |
30 ppm |
|
Показатели качества компонентов стандартных смесей |
Фосфин |
Водород* |
|
Основное вещество |
99,9998 % |
99,9999% |
|
Аргон |
< 0,5 ppm |
Ar/O2 < 0,2 ppm |
|
Кислород |
< 0,1 ppm | |
|
Азот |
< 1 ppm |
< 0,5 ppm |
|
Вода |
< 1 ppm |
< 2 ppm |
|
Метан |
< 0,1 ppm |
< 0,3 ppm |
|
Этан |
< 0,1 ppm | |
|
Пропан |
< 0,1 ppm | |
|
Диоксид углерода |
< 0,1 ppm | |
|
Оксид углерода |
< 0,1 ppm | |
|
Водород | ||
|
Арсин |
< 0,1 ppm |
Аргон |
|
Металлы |
< 0,1 ppb |
* Возможно использование водорода иной чистоты
Продукция соответствует ТУ 2114-004-16422443-2000 изм.1
|
Общая характеристика |
Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный | |||
|
фосфин |
водород | |||
|
Молекулярная масса |
34 г/моль |
2 г/моль |
№ ООН |
1953/2199 |
|
Температура кипения |
- 87,4 °C |
- 273 °C |
КЭМ |
15 ДЭ |
|
Температура плавления |
- 132,5 °C |
- 259 °C |
Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88) |
2.4 |
|
Критическая температура |
51,3 °C |
- 240 °C |
Знаки опасности | |
|
Критическое давление |
6,54 МПа |
1,29 МПа |
УПАКОВКА:
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (2м?)
Возможно наполнение баллонов другого объема.
ТРАНСПОРТИРОВКА:
В соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением
