|
|
|
ПРИМЕНЕНИЕ:
Треххлористый бор используется для плазменно-химического травления слоев на основе алюминия при производстве кремниевых интегральных схем
|
МАРКА
|
3.0
|
4.5
|
5.0
|
|
Содержание основного вещества, не менее
|
99,9%
|
99,995%
|
99,999 %
|
|
Примеси:
|
|
Хлористый метил (CH3Cl), не более
|
|
2 ppm
|
2 ppm
|
|
Хлористый метилен (CH2Cl2), не более
|
|
2 ppm
|
2 ppm
|
|
Хлор (Cl2), не более
|
100 ppm
|
10 ppm
|
1 ppm
|
|
Фосген (COCl2), не более
|
50 ppm
|
10 ppm
|
0,5 ppm
|
|
Четыреххлористый кремний (SiCl4), не более
|
50 ppm
|
3 ppm
|
3 ppm
|
|
Металлы, в т.ч.
|
|
|
|
|
Fe, не более
|
|
0,1 ppm
|
0,1 ppm
|
|
Cu, не более
|
|
0,01 ppm
|
0,01 ppm
|
|
Ni, не более
|
|
0,02 ppm
|
0,02 ppm
|
|
Cr, не более
|
|
0,02 ppm
|
0,02 ppm
|
|
Mn, не более
|
|
0,01 ppm
|
0,01 ppm
|
|
Co, не более
|
|
0,01 ppm
|
0,01 ppm
|
|
Mg, не более
|
|
0,02 ppm
|
0,02 ppm
|
|
Al, не более
|
|
0,03 ppm
|
0,03 ppm
|
|
Ca, не более
|
|
0,02 ppm
|
0,02 ppm
|
|
Zn, не более
|
|
0,03 ppm
|
0,03 ppm
|
|
Cd, не более
|
|
0,01 ppm
|
0,01 ppm
|
|
Sn, не более
|
|
0,02 ppm
|
0,02 ppm
|
|
Pb, не более
|
|
0,02 ppm
|
0,02 ppm
|
|
Sb, не более
|
|
0,01 ppm
|
0,01 ppm
|
|
Bi, не более
|
|
0,01 ppm
|
0,01 ppm
|
|
Mo, не более
|
|
0,01 ppm
|
0,01 ppm
|
Продукция соответствует ТУ 1-00-07526811-31-93
ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА:
бесцветный, негорючий, токсичный, коррозийный газ
|
Молярная масса
|
117,3
|
CAS №
|
10294-34-5
|
|
| |
№ ООН
|
1741
|
|
Температура кипения
|
12 °C
|
КЭМ
|
345 КЭ
|
|
Температура плавления
|
- 107 °C
|
Класс опасности груза
(по ГОСТу 19433-88)
|
2.3
|
|
Критическая температура
|
178,8 °C
|
Знаки опасности
|
 
|
|
Критическое давление
|
3,87 МПа
|
УПАКОВКА:
стандартное наполнение – 10-литровый баллон (~10 кг).
Возможно наполнение баллонов другого объема.
ТРАНСПОРТИРОВКА:
в соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением
Назад в раздел
|
|
