ТРЕХХЛОРИСТЫЙ БОР

1 000 руб.
Треххлористый бор используется для плазменно-химического травления слоев на основе алюминия при производстве кремниевых интегральных схем
МАРКА |
3.0 |
4.5 |
5.0 |
Содержание основного вещества, не менее |
99,9% |
99,995% |
99,999 % |
Примеси: | |||
Хлористый метил (CH3Cl), не более |
2 ppm |
2 ppm | |
Хлористый метилен (CH2Cl2), не более |
2 ppm |
2 ppm | |
Хлор (Cl2), не более |
100 ppm |
10 ppm |
1 ppm |
Фосген (COCl2), не более |
50 ppm |
10 ppm |
0,5 ppm |
Четыреххлористый кремний (SiCl4), не более |
50 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
Металлы, в т.ч. | |||
Fe, не более |
0,1 ppm |
0,1 ppm | |
Cu, не более |
0,01 ppm |
0,01 ppm | |
Ni, не более |
0,02 ppm |
0,02 ppm | |
Cr, не более |
0,02 ppm |
0,02 ppm | |
Mn, не более |
0,01 ppm |
0,01 ppm | |
Co, не более |
0,01 ppm |
0,01 ppm | |
Mg, не более |
0,02 ppm |
0,02 ppm | |
Al, не более |
0,03 ppm |
0,03 ppm | |
Ca, не более |
0,02 ppm |
0,02 ppm | |
Zn, не более |
0,03 ppm |
0,03 ppm | |
Cd, не более |
0,01 ppm |
0,01 ppm | |
Sn, не более |
0,02 ppm |
0,02 ppm | |
Pb, не более |
0,02 ppm |
0,02 ppm | |
Sb, не более |
0,01 ppm |
0,01 ppm | |
Bi, не более |
0,01 ppm |
0,01 ppm | |
Mo, не более |
0,01 ppm |
0,01 ppm |
Продукция соответствует ТУ 1-00-07526811-31-93
ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА:
бесцветный, негорючий, токсичный, коррозийный газ
Молярная масса |
117,3 |
CAS № |
10294-34-5 |
№ ООН |
1741 | ||
Температура кипения |
12 °C |
КЭМ |
345 КЭ |
Температура плавления |
- 107 °C |
Класс опасности груза
|
2.3 |
Критическая температура |
178,8 °C |
Знаки опасности | |
Критическое давление |
3,87 МПа |
УПАКОВКА:
стандартное наполнение – 10-литровый баллон (~10 кг).
Возможно наполнение баллонов другого объема.
ТРАНСПОРТИРОВКА:
в соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением