СИНОНИМЫ
Трифторметан, trifluoromethane, carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23; R23
ПРИМЕНЕНИЕ
Хладон 23 используется в качестве реагента для сухого травления при изготовлении интегральных микросхем.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
| МАРКА | 2.8 | 5.0 | 
|---|---|---|
| Содержание основного вещества, не менее | 99,8 % | 99,999% | 
| Примеси: | ||
| Дифторхлорметана и трифторхлорметана в сумме | < 0,2 % | — | 
| Вода | < 0,002 % | < 5 ppm | 
| Азот | — | < 10 ppm | 
| Кислород | — | < 5 ppm | 
| Диоксид углерода | — | < 2 ppm | 
| Общие углеводороды по метану | — | < 1 ppm | 
| Другие галогенуглеводороды | — | < 5 ppm | 
| Кислотность по HF | — | < 0,1 ppm | 
| Стандарт/ТУ | ТУ 6-02-1321-85 изм.1, 2, 3, 4 | 
ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Общая характеристика | без цвета и запаха, негорюч, невзрывоопасен, малотоксичен | ||
| Молекулярная масса | 70,01 г/моль | CAS № | 75-46-7 | 
| Давление паров при 20° С | 4,38 МПа | № ООН | UN1984 | 
| Температура кипения | — 82,2° C | КЭМ | 23 | 
| Температура плавления | — 155,15° C | Класс опасности груза | 2.2 | 
| Критическая температура | 25,85 °C | Знаки опасности | |
| Критическое давление | 4,82 МПа | 
УПАКОВКА
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~20 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.




 
				 
				 
				 
				 
				 
				 
				