ГАЗОВАЯ СМЕСЬ ДИБОРАНА С ВОДОРОДОМ

1 000 руб.
Синонимы: Diborane hydrogen gas mixture, Boron hydride, Diboron hexahydride, Boroethane
ПРИМЕНЕНИЕ
Диборан используется как источник легирующего атома бора в технологии эпитаксиальных кремниевых пленок.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
Марка |
2% |
---|---|
Содержание диборана |
1,9 - 2,1% |
Содержание водорода |
баланс |
Примеси в диборане: | |
O2 + Ar |
< 1 ppm |
N2 |
< 10 ppm |
CO2 |
< 5 ppm |
CH4 |
< 5 ppm |
BF3 |
< 50 ppm |
Высшие бораны |
< 350 ppm |
Примеси в водороде: | |
O2 |
< 0,2 ppm |
N2 |
< 0,2 ppm |
CnHm |
< 0,02 ppm |
CO |
< 0,1 ppm |
CO2 |
< 0,02 ppm |
H2O |
< 1 ppm |
По запросу возможно изготовление смесей диборана с другой концетрацией и в другом балансе.
ХАРАКТЕРИСТИКИ
Общая характиристика | |||
Молекулярная масса |
27,66964 г/моль |
CAS № |
19287-45-7 |
№ ООН |
UN1911 (чистый диборан), UN1954 (газовая смесь) | ||
Температура кипения |
-92,5° C |
КЭМ | |
Температура плавления |
Класс опасности груза
|
2.1 | |
Критическая температура |
16,65° C |
Знаки опасности | |
Критическое давление |
4,053 МПа |
УПАКОВКА
Объем, дм3 |
Размер ?D?H, см |
Вес баллона, кг |
Максимальное заполнение, куб. м |
---|---|---|---|
10 |
?14?82 |
14 |
0,89 |
40 (импортный) |
?23?128 |
39 |
3,55 |
40 (РФ) |
?22?128 |
65 |
3,55 |
50 |
?23,5?147 |
57 |
4,44 |
Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 6 (СП 21,8 лев. ? 14 нит/дюйм), другие по запросу.