Работаем в обычном режиме с 10-18, Пн-Пт

КРЕМНИЯ ТЕТРАФТОРИД

Синонимы: Silicon tetrafluoride, тетрафторсилан

ПРИМЕНЕНИЕ

Тетрафторид кремния используется в микроэлектронике для ионной имплантации и совместно с силаном для плазменного осаждения фторированного кремния.

У нас можно купить тетрафторид кремния следующих марок
Марка	5.0
Содержание основного вещества, не менее	99,999%
Примеси:
O₂ + Ar	< 1 ppm
N₂	< 3 ppm
CO	< 0,5 ppm
CO₂	< 1 ppm
CH₄	< 10 ppm
As	< 0,5 ppm
B	< 0,5 ppm
P	< 0,5 ppm

Характеристики тетрафторида кремния
Общая характиристика
Молекулярная масса	104,07911 г/моль	CAS №	7783-61-1
		№ ООН	UN1859
Температура кипения	-95,2° C	КЭМ
Температура плавления	-86,8° C при 2,24 бар	Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)	2.3 + 8
Критическая температура	-14,2° C	Знаки опасности
Критическое давление	3,715 МПа	Знаки опасности

Стандартные баллоны для тетрафторида кремния
Объем, дм³	Размер ⌀D×H, см	Вес баллона, кг	Максимальное заполнение, кг
10	⌀14×82	14	4-8
40 (импортный)	⌀23×128	39	16-32
40 (РФ)	⌀22×128	65	16-32
50	⌀23,5×147	57	20-40

Вентиль мембранный из нержавеющей стали, подсоединение DIN 8 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 × 14 нит/дюйм), другие по запросу.