КРЕМНИЯ ТЕТРАФТОРИД

1 000 руб.
Синонимы: Silicon tetrafluoride, тетрафторсилан
ПРИМЕНЕНИЕ
Тетрафторид кремния используется в микроэлектронике для ионной имплантации и совместно с силаном для плазменного осаждения фторированного кремния.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
Марка |
5.0 |
---|---|
Содержание основного вещества, не менее |
99,999% |
Примеси: | |
O2 + Ar |
< 1 ppm |
N2 |
< 3 ppm |
CO |
< 0,5 ppm |
CO2 |
< 1 ppm |
CH4 |
< 10 ppm |
As |
< 0,5 ppm |
B |
< 0,5 ppm |
P |
< 0,5 ppm |
ХАРАКТЕРИСТИКИ
Общая характиристика | |||
Молекулярная масса |
104,07911 г/моль |
CAS № |
7783-61-1 |
№ ООН |
UN1859 | ||
Температура кипения |
-95,2° C |
КЭМ | |
Температура плавления |
-86,8° C при 2,24 бар |
Класс опасности груза
|
2.3 + 8 |
Критическая температура |
-14,2° C |
Знаки опасности | |
Критическое давление |
3,715 МПа |
УПАКОВКА
Объем, дм3 |
Размер ?D?H, см |
Вес баллона, кг |
Максимальное заполнение, кг |
---|---|---|---|
10 |
?14?82 |
14 |
4-8 |
40 (импортный) |
?23?128 |
39 |
16-32 |
40 (РФ) |
?22?128 |
65 |
16-32 |
50 |
?23,5?147 |
57 |
20-40 |
Вентиль мембранный из нержавеющей стали, подсоединение DIN 8 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 ? 14 нит/дюйм), другие по запросу.