ХЛАДОН 116 (ГЕКСАФТОРЭТАН)

1 000 руб.
Синонимы: Hexafluoroethane, R116, гексафторэтан
ПРИМЕНЕНИЕ
Наиболее универсальный травящий агент. Может использоваться для селективного травления силицидов металлов и оксидных пленок на металлических подложках. В смеси с кислородом стравливает фоторезист.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
Марка |
5.0 |
---|---|
Содержание основного вещества, не менее |
99,999% |
Примеси: | |
N2 |
< 4 ppm |
O2 |
< 1 ppm |
Общие углеводороды |
< 1 ppm |
CO2 |
< 2 ppm |
CO |
< 1 ppm |
H2O |
< 1 ppm |
Кислотность по HF |
< 0,1 ppm |
ХАРАКТЕРИСТИКИ
Общая характиристика |
Газ без цвета и запаха. | ||
Молекулярная масса |
138,01182 г/моль |
CAS № |
76-16-4 |
Давление паров при 19,7° С |
29,8 бар |
№ ООН |
UN2193 |
Температура кипения |
-78,2° C |
КЭМ | |
Температура плавления |
-100,6° C |
Класс опасности груза
|
2.2 |
Критическая температура |
19,7° C |
Знаки опасности | |
Критическое давление |
2,98 МПа |
УПАКОВКА
Заполняется в баллоны от 10 до 40 л. Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 ? 14 нит/дюйм), другие по запросу.