ХЛАДОН 318C (ОКТОФТОРЦИКЛОБУТАН)

1 000 руб.
Синонимы: Octafluorocyclobutane, RC318, R318C, Perfluorocyclobutane, октофторциклобутан, перфторциклобутан, хладон 318Ц
ПРИМЕНЕНИЕ
Используется в микроэлектронике для плазменного травления пленок кремния и диоксида кремния.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
Марка |
3.0 |
5.0 |
---|---|---|
Содержание основного вещества, не менее |
99,9% |
99,999% |
Примеси: | ||
Примеси, определяемые хроматографическим методом |
< 0,1 % |
- |
Органические примеси |
- |
< 10 ppm |
N2 |
- |
< 5 ppm |
O2 |
- |
< 2 ppm |
H2O |
- |
< 3 ppm |
Кислотность по HF |
- |
< 1 ppm |
ХАРАКТЕРИСТИКИ
Общая характиристика |
Газ без цвета и запаха. Нетоксичен. | ||
Молекулярная масса |
200,03003 г/моль |
CAS № |
115-25-3 |
Давление паров при 20° С |
1,7 бар |
№ ООН |
UN1976 |
Температура кипения |
-5,99° C |
КЭМ | |
Температура плавления |
-41,4° C |
Класс опасности груза
|
2.2 |
Критическая температура |
115,22° C |
Знаки опасности | |
Критическое давление |
2,777 МПа |
УПАКОВКА
Объем, дм3 |
Размер ?D?H, см |
Вес баллона, кг |
Максимальное заполнение, кг |
---|---|---|---|
10 |
?14?82 |
14 |
9,4 |
20 |
?18?104 |
24 |
18,8 |
40 (импортный) |
?23?128 |
39 |
37,6 |
40 (РФ) |
?22?128 |
65 |
37,6 |
50 |
?23,5?147 |
57 |
47 |
Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 ? 14 нит/дюйм), другие по запросу.