Время работы: с 10-18 (МСК) Пн-Пт
Работаем только с юр. лицами и ИП. Заявки на info@eko-tec.ru
Заявки по драгметаллам и их соединениям dragmet@eko-tec.ru

ХЛАДОН 318C (ОКТОФТОРЦИКЛОБУТАН)

ХЛАДОН 318C (ОКТОФТОРЦИКЛОБУТАН)
Единица измерения:

Цена: 1 000 руб.

Заказать

1 000 руб.

Синонимы: Octafluorocyclobutane, RC318, R318C, Perfluorocyclobutane, октофторциклобутан, перфторциклобутан, хладон 318Ц

ПРИМЕНЕНИЕ

Используется в микроэлектронике для плазменного травления пленок кремния и диоксида кремния.

СПЕЦИФИКАЦИЯ

У нас можно купить хладон 318C следующих марок

Марка

3.0

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,9%

99,999%

Примеси:

Примеси, определяемые хроматографическим методом

< 0,1 %

-

Органические примеси

-

< 10 ppm

N2

-

< 5 ppm

O2

-

< 2 ppm

H2O

-

< 3 ppm

Кислотность по HF

-

< 1 ppm

ХАРАКТЕРИСТИКИ

Характеристики октафторциклобутана

Общая характиристика

Газ без цвета и запаха. Нетоксичен.

Молекулярная масса

200,03003 г/моль

CAS №

115-25-3

Давление паров при 20° С

1,7 бар

№ ООН

UN1976

Температура кипения

-5,99° C

КЭМ

Температура плавления

-41,4° C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

115,22° C

Знаки опасности

Критическое давление

2,777 МПа

УПАКОВКА

Стандартные баллоны для хладона 318C

Объем, дм3

Размер ?D?H, см

Вес баллона, кг

Максимальное заполнение, кг

10

?14?82

14

9,4

20

?18?104

24

18,8

40 (импортный)

?23?128

39

37,6

40 (РФ)

?22?128

65

37,6

50

?23,5?147

57

47

Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 ? 14 нит/дюйм), другие по запросу.

Вернуться назад