Трис(диметиламино)силан (TDMAS) для осаждения кремнийсодержащих пленок

Описание:

Трис(диметиламино)силан — это органосиликатное соединение с высокой летучестью и термической стабильностью, широко используемое в качестве предшественника для осаждения паром при изготовлении тонких пленок, содержащих кремний, для различных применений, включая солнечные батареи, катализаторы топливных элементов и полупроводники. Осаждение может проводиться при низких температурах подложки (<150°C). Температура плавления и давление пара трис(диметиламино)силана находятся в подходящем рабочем диапазоне, что делает его отличным предшественником для осаждения паром. Соединение также применяется в атомно-слоевом осаждении для создания функционализированных кремниевых разделителей в литий-ионных батареях.

Применение:

Трис(диметиламино)силан может использоваться: в качестве источника кремния для осаждения алюмосиликата на аноды TiO2 в красочно-сенсибилизированных солнечных ячейках методом атомно-слоевого осаждения. Также используется как предшественник для создания функционализированных кремнием усиленных сепараторов для литий-ионных батарей.