Описание:
Травящий состав А — это специализированный химический реагент, предназначенный для быстрого и контролируемого травления керамических материалов, таких как нитрид кремния (Si₃N₄), нитрид галлия (GaN) и оксид алюминия (Al₂O₃). Продукт разработан НПО ЭкоТек для применения в микроэлектронике и производстве полупроводниковых устройств. Состав обеспечивает высокую селективность и позволяет точно управлять скоростью травления, что критически важно при создании тонкоплёночных структур и микроэлектромеханических систем (МЭМС). При работе с реагентом необходимо соблюдать меры предосторожности: использовать средства индивидуальной защиты и обеспечивать хорошую вентиляцию.
Применение:
Травящий состав А применяется в микроэлектронной промышленности для обработки керамических подложек и плёнок. Основные направления использования: 1) Травление нитрида кремния (Si₃N₄) в производстве интегральных схем; 2) Обработка нитрида галлия (GaN) при изготовлении светодиодов и высокочастотных транзисторов; 3) Модификация поверхности оксида алюминия (Al₂O₃) в сенсорных устройствах и изоляционных слоях. Реагент обеспечивает стабильную скорость травления в диапазоне 5-50 нм/мин при комнатной температуре, что позволяет достигать высокой точности обработки. Продукт поставляется НПО ЭкоТек в готовом к применению виде.