Фторид вольфрама(VI)

Описание:

Фторид вольфрама(VI) (WF₆), также известный как гексафторид вольфрама, представляет собой бесцветный газ с резким запахом, обладающий высокой химической активностью. Это соединение является важным прекурсором в производстве полупроводниковых материалов, особенно для получения оксида вольфрама(VI) (WO₃) и металлического вольфрама методом химического осаждения из газовой фазы (CVD). Вещество активно реагирует с водой, образуя фтороводород и оксифториды, что требует специальных условий хранения и транспортировки. Благодаря уникальным свойствам, WF₆ находит применение в микроэлектронике и нанотехнологиях для создания тонких пленок и покрытий.

Применение:

Основное применение гексафторида вольфрама связано с производством микроэлектронных компонентов. В качестве прекурсора он используется в процессах химического осаждения из газовой фазы для нанесения вольфрамовых покрытий и создания межсоединений в интегральных схемах. Также WF₆ применяется в лазерных технологиях, синтезе катализаторов и производстве специальных оптических стекол. При работе с соединением необходимо соблюдать строгие меры безопасности из-за его коррозионной активности и токсичности. НПО ЭкоТек поставляет высокочистый гексафторид вольфрама для исследовательских и промышленных целей.