Гексакарбонил вольфрама W(CO)₆ высокой чистоты для микроэлектроники

Описание:

Гексакарбонил вольфрама (W(CO)₆) — это летучее, стабильное на воздухе металлоорганическое соединение вольфрама в степени окисления 0. Представляет собой бесцветные кристаллы или белый кристаллический порошок со слабым запахом. Обладает высокой летучестью и хорошо растворяется в органических растворителях. Соединение широко используется в качестве прекурсора для нанесения тонких плёнок вольфрама и его соединений методами химического осаждения из газовой фазы (CVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD). Благодаря своей стабильности и предсказуемому поведению при разложении, гексакарбонил вольфрама является ценным реагентом в микроэлектронике и нанотехнологиях.

Применение:

Гексакарбонил вольфрама (W(CO)₆) применяется как прекурсор для получения тонких плёнок чистого вольфрама и карбида вольфрама методами CVD и ALD. Эти технологии востребованы при производстве микроэлектронных компонентов, износостойких покрытий и наноструктур. В химическом синтезе соединение используется как источник вольфрама(0) для получения кластеров и катализаторов. НПО ЭкоТек поставляет гексакарбонил вольфрама высокой чистоты в удобной упаковке для систем осаждения, обеспечивая стабильность и воспроизводимость процессов. Материал требует осторожного обращения из-за токсичности и летучести.