Описание:
Ортосиликат тетраэтила (Ортосиликат тетраэтила, TEOS) — химическое соединение с формулой Si(OC₂H₅)₄, представляющее собой сложный эфир ортокремниевой кислоты. Широко используется в качестве прекурсора для получения кремнийсодержащих материалов. Это бесцветная жидкость с характерным запахом, гидролизующаяся во влажной среде. Обладает высокой реакционной способностью в процессах золь-гель синтеза, позволяя получать наноструктурированные оксиды кремния при низких температурах.
Применение:
Ортосиликат тетраэтила применяется как ключевой прекурсор для осаждения тонких плёнок: оксида кремния, оксикарбида, легированных силикатов, силанола, силоксановых полимеров и органосиликоновых покрытий. Процессы осаждения возможны при низких температурах (<250 °C), что делает материал незаменимым для чувствительных к нагреву подложек. TEOS также используется для создания мезопористых и нанопористых плёнок кремнезёма, которые могут быть дополнительно модифицированы легирующими добавками для улучшения функциональных свойств. В исследованиях НПО ЭкоТек вещество применяется для синтеза интеркаляционных соединений H+-магадита с додециламином и в разработке смешанных металлосодержащих биоактивных стёкол.