Пентакис(диметиламидо)тантал(V)

Описание:

Пентакис(диметиламидо)тантал(V) — металлоорганическое соединение тантала с формулой Ta(N(CH₃)₂)₅. Относится к классу амидных прекурсоров. Тантал, как элемент с атомным номером 73, обладает уникальными каталитическими свойствами. Соединение отличается высокой чистотой (99,99%) и термостабильностью, что делает его ценным для нанотехнологий. Благодаря летучести и способности к контролируемому разложению, оно востребовано при производстве тонких плёнок методом химического осаждения из газовой фазы (CVD/ALD). Чистота вещества обеспечивает минимум примесей в покрытиях, критически важных для микроэлектроники.

Применение:

Основное применение пентакис(диметиламидо)тантала(V) — создание ультратонких слоёв оксида тантала (Ta₂O₅) или нитрида тантала (TaN) в микроэлектронике. Используется в процессах CVD и ALD для нанесения диэлектриков и барьерных слоёв в интегральных схемах. Благодаря высокой летучести и чистому термическому разложению, обеспечивает равномерные нанопокрытия с точной стехиометрией. Также применяется как катализатор в органическом синтезе и прекурсор для синтеза других комплексов тантала. НПО ЭкоТек поставляет прекурсоры для нанотехнологий с гарантией качества и соответствия стандартам.