Тетракис(диэтиламидо)гафний(IV)

Описание:

Тетракис(диэтиламидо)гафний(IV) — это комплексное соединение гафния в степени окисления +4 с диэтиламидными лигандами. Атомный номер гафния — 72. Данное вещество представляет собой высокочистый прекурсор (99,99%), применяемый в передовых технологических процессах. В сухом виде это твёрдое вещество, чувствительное к влаге и кислороду воздуха, что требует особых условий хранения и работы в инертной атмосфере. Гафний как металл обладает исключительной коррозионной стойкостью и высокой температурой плавления, что делает его соединения перспективными для создания термостойких материалов и наноструктур. НПО ЭкоТек гарантирует высочайшее качество продукции для требовательных производств.

Применение:

Тетракис(диэтиламидо)гафний(IV) широко используется в полупроводниковой промышленности в качестве прекурсора для химического осаждения из газовой фазы (CVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD) оксидов и нитридов гафния. Эти тонкие плёнки служат диэлектриками в микроэлектронных устройствах нового поколения. Также соединение применяется в катализе органических реакций и синтезе функциональных керамических материалов. Благодаря высокой термической стабильности, оно незаменимо при создании защитных покрытий для аэрокосмической техники. НПО ЭкоТек поставляет реагент с гарантированной чистотой 99,99%, что критично для нанотехнологий.