Титан(IV)-ТДМАТ Прекурсор для ALD осаждения

Описание:

Тетракис(диметиламидо)титан(IV) (формула Ti[N(CH3)2]4) — координационное соединение титана в степени окисления +4 с диметиламидными лигандами. Основой материала является титан (атомный номер 22). Это летучий желтоватый раствор, чувствительный к воздуху и влаге, широко применяемый в качестве прекурсора в методах осаждения тонких плёнок. Вещество хранится в герметичных ампулах под инертной атмосферой для сохранения стабильности. Тетракис(диметиламидо)титан(IV) демонстрирует высокую реакционную способность при взаимодействии с нуклеофилами, что делает его ценным агентом в синтезе наноматериалов и керамических покрытий.

Применение:

Тетракис(диметиламидо)титан(IV) (TDMAT) применяется НПО ЭкоТек как прекурсор для атомно-слоевого осаждения (ALD) диоксида титана (TiO2) с использованием воды в качестве окислителя. При взаимодействии с избытком циклопентадиена вещество экзотермически образует трис(диметиламидо)(η5-циклопентадиенил)титан(IV). Основные сферы использования: создание диэлектрических слоёв в микроэлектронике, фотокаталитические покрытия, элементы солнечных батарей и литиевых аккумуляторов. Прекурсор поставляется в специализированной упаковке для систем осаждения, обеспечивающей безопасное хранение и дозирование. НПО ЭкоТек гарантирует высокую чистоту реагента для получения плёнок с контролируемой морфологией.