Описание:
Тетракис(диметиламидо)цирконий(IV) — химическое соединение, используемое в качестве прекурсора для атомно-слоевого осаждения циркония. Применяется в микроэлектронике для создания высокопроницаемых диэлектриков и газовых сенсоров. Обладает высокой чистотой (≥99.99%), что критично для электронной промышленности. Физически представляет собой жидкость или твердое вещество, чувствительное к влаге и воздуху. Производится с соблюдением строгих стандартов для обеспечения стабильности и качества.
Применение:
Тетракис(диметиламидо)цирконий(IV) широко используется как прекурсор для атомно-слоевого осаждения циркония в микроэлектронике. Основные области применения включают производство высокопроницаемых диэлектриков (high-k) для транзисторов и конденсаторов, а также создание чувствительных газовых сенсоров. Благодаря высокой чистоте (≥99.99%) обеспечивает превосходную воспроизводимость процессов осаждения. Технически совместим с кремниевыми подложками и другими материалами. НПО ЭкоТек гарантирует оптимальные условия хранения и поставки для промышленных и исследовательских задач.