Описание:
Тетракис(этилметиламидо)гафний(IV) (ТЕМАГ) — бесцветная жидкость, замерзающая при -50 °C и кипящая при 78 °C и давлении 0,1 Торр. Соединение чувствительно к воздуху и воде. Гафний — редкий переходный металл, амидные производные которого активно изучаются как прекурсоры для атомно-слоевого осаждения. НПО ЭкоТек поставляет ТЕМАГ высокой чистоты для микроэлектронной промышленности.
Применение:
Тетракис(этилметиламидо)гафний(IV) используется как прекурсор для атомно-слоевого осаждения (АСО) конформных тонких пленок оксида гафния (HfO2) и оксида гафния-циркония (Hf1-xZrxO2). Эти материалы применяются как диэлектрики при производстве полупроводников благодаря высоким диэлектрическим постоянным. ТЕМАГ идеально подходит для АСО, так как его адсорбция самоограничивается на различных подложках: стекле, оксиде индия-олова (ITO), кремнии Si(100) и двумерных материалах типа MoS2. В процессе АСО ТЕМАГ легко реагирует с водой или озоном, выступающими источниками кислорода. НПО ЭкоТек предлагает упаковку для систем осаждения, обеспечивающую стабильность и удобство использования прекурсора.