Трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)ниобий(V)

Описание:

Трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)ниобий(V) — это металлоорганическое соединение ниобия в степени окисления +5, используемое в качестве прекурсора для химического осаждения из газовой фазы (CVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD). Соединение обладает высокой летучестью и термической стабильностью, что делает его пригодным для нанесения тонких пленок нитрида ниобия, оксинитрида ниобия и других сложных материалов. Применяется в производстве микроэлектроники, оптоэлектроники и защитных покрытий. Физические свойства: жидкость желтого или коричневого цвета, чувствительная к влаге и воздуху, требует хранения в инертной атмосфере. Взаимодействует с кислородом и водой, образуя оксиды и гидроксиды. Продукт поставляется НПО ЭкоТек в герметичных ампулах с гарантией чистоты.

Применение:

Трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)ниобий(V) находит применение в качестве прекурсора для нанесения тонких пленок нитрида ниобия (NbN), оксинитрида ниобия (NbON) и других соединений ниобия методами CVD и ALD. Эти пленки используются в производстве интегральных схем, резисторов, конденсаторов, защитных покрытий для оптических элементов и в качестве сверхпроводящих материалов. Соединение обеспечивает высокую чистоту и равномерность осаждаемых слоев. Особенно востребовано при создании наноразмерных структур в микроэлектронике. Продукт поставляется НПО ЭкоТек в специальной упаковке, готовой к использованию в системах осаждения, что гарантирует удобство и безопасность применения.