Трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)тантал(V)

Описание:

Трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)тантал(V) — это металлоорганическое соединение тантала (атомный номер 73) с координационным числом 5. Данное вещество представляет собой высокочистый прекурсор, используемый в процессах химического осаждения из газовой фазы (CVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD). Применяется для получения тонких пленок тантала и его соединений в микроэлектронике. Соединение обладает высокой реакционной способностью и требует специальных условий хранения. Физически может проявляться как кристаллическое или жидкое вещество в зависимости от температуры. Основные области применения включают производство полупроводниковых устройств и наноструктур. Чистота материала обеспечивает минимизацию примесей в готовых изделиях.

Применение:

Соединение трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)тантал(V) преимущественно используется в микроэлектронной промышленности в качестве прекурсора для получения тонких пленок тантала и его нитридов методом CVD и ALD. Оно обеспечивает высокую чистоту и равномерность покрытий, что критично для производства современных полупроводниковых приборов. Также применяется в катализе, научных исследованиях и синтезе новых материалов. При работе с веществом необходимо соблюдать меры предосторожности из-за его высокой реакционной способности и чувствительности к влаге и кислороду.