Тетракис(этилметиламидо)цирконий(IV)

Тетракис(этилметиламидо)цирконий(IV) — химическое соединение на основе циркония с атомным номером 40. Применяется в качестве прекурсора для систем осаждения, благодаря своим свойствам, таким как низкая температура кипения (81 °C при 0.1 мм рт. ст.) и плотность 1.049 г/мл при 25 °C. Жидкость, обладающая высокой реакционной способностью в процессах осаждения. Широко используется в микроэлектронике и нанотехнологиях для создания тонкопленочных покрытий. Формула соединения Zr(NCH3C2H5)4. Производится НПО ЭкоТек.