Гексаметилдисилоксан

Описание:

Гексаметилдисилоксан (HMDSO), линейный полидисилоксан, является органосиликоновым реагентом, который часто используется как источник для плазмохимического осаждения из газовой фазы (PE-CVD) тонких пленок кремниевых соединений. Он также применяется как замена силану в технологии интегральных схем на основе кремния. Его диссоциативная ионизация под воздействием электронного удара была изучена с помощью масс-спектрометрии с преобразованием Фурье. Синтез плазменных полимеризованных тонких пленок HMDSO методом атмосферного давления был задокументирован. Кристаллы HMDSO при 148K являются моноклинными. Добавление HMDSO к P4S10 улучшает его эффективность как тионирующего агента.

Применение:

Гексаметилдисилоксан может использоваться для создания газодиффузионного слоя (GDL) с контролируемым гидрофобным силиконовым нано-слоем методом сухого осаждения. Также его применяют для получения серебряных наночастиц, покрытых кремнеземом, с использованием аргинина и глюкозы в качестве катализатора и восстановителя соответственно.