ХЛАДОН 116

ПРИМЕНЕНИЕ
Наиболее универсальный травящий агент. Может использоваться для селективного травления силицидов металлов и оксидных пленок на металлических подложках. В смеси с кислородом стравливает фоторезист.

СПЕЦИФИКАЦИЯ
У нас можно купить хладон 116 следующих марок
Марка

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,999%

Примеси:

N2

< 4 ppm

O2

< 1 ppm

Общие углеводороды

< 1 ppm

CO2

< 2 ppm

CO

< 1 ppm

H2O

< 1 ppm

Кислотность по HF

< 0,1 ppm

ХАРАКТЕРИСТИКИ
Характеристики хладона 116
Общая характиристика

Газ без цвета и запаха.

Молекулярная масса

138,01182 г/моль

CAS №

76-16-4

Давление паров при 19,7° С

29,8 бар

№ ООН

UN2193

Температура кипения

-78,2° C

КЭМ

Температура плавления

-100,6° C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

19,7° C

Знаки опасности

Критическое давление

2,98 МПа

УПАКОВКА
Заполняется в баллоны от 10 до 40 л. Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 ? 14 нит/дюйм), другие по запросу.

ТРАНСПОРТИРОВКА
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 «О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением».

РЕКОМЕНДУЕМЫЙ РЕДУКТОР
Стандартный редуктор для чистых газов.

ГАРАНТИЙНЫЙ СРОК ХРАНЕНИЯ
12 месяцев.