Синонимы: Diborane hydrogen gas mixture, Boron hydride, Diboron hexahydride, Boroethane
ПРИМЕНЕНИЕ
Диборан используется как источник легирующего атома бора в технологии эпитаксиальных кремниевых пленок.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
| Марка | 2% | 
|---|---|
| Содержание диборана | 1,9 — 2,1% | 
| Содержание водорода | баланс | 
| Примеси в диборане: | |
| O2 + Ar | < 1 ppm | 
| N2 | < 10 ppm | 
| CO2 | < 5 ppm | 
| CH4 | < 5 ppm | 
| BF3 | < 50 ppm | 
| Высшие бораны | < 350 ppm | 
| Примеси в водороде: | |
| O2 | < 0,2 ppm | 
| N2 | < 0,2 ppm | 
| CnHm | < 0,02 ppm | 
| CO | < 0,1 ppm | 
| CO2 | < 0,02 ppm | 
| H2O | < 1 ppm | 
По запросу возможно изготовление смесей диборана с другой концетрацией и в другом балансе.
ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Общая характиристика | |||
| Молекулярная масса | 27,66964 г/моль | CAS № | 19287-45-7 | 
| № ООН | UN1911 (чистый диборан), UN1954 (газовая смесь) | ||
| Температура кипения | -92,5° C | КЭМ | |
| Температура плавления | Класс опасности груза | 2.1 | |
| Критическая температура | 16,65° C | Знаки опасности | |
| Критическое давление | 4,053 МПа | 
УПАКОВКА
| Объем, дм3 | Размер ?D?H, см | Вес баллона, кг | Максимальное заполнение, куб. м | 
|---|---|---|---|
| 10 | ?14?82 | 14 | 0,89 | 
| 40 (импортный) | ?23?128 | 39 | 3,55 | 
| 40 (РФ) | ?22?128 | 65 | 3,55 | 
| 50 | ?23,5?147 | 57 | 4,44 | 
Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 6 (СП 21,8 лев. ? 14 нит/дюйм), другие по запросу.




 
				 
				 
				 
				 
				 
				 
				