ГАЗОВЫЕ СМЕСИ ФОСФИНА С АРГОНОМ

Name: ГАЗОВЫЕ СМЕСИ ФОСФИНА С АРГОНОМ
SKU: 5171427
Availability: InStock

100,00 ₽

Газовые смеси фосфина с аргоном от Экотек — идеальный легирующий агент n-типа для производства полупроводниковых материалов. Купить уже сейчас!

Артикул: 5171427 Категория: Промышленные газы

Синонимы: Phosphine argon gas mixture

ПРИМЕНЕНИЕ

Газовые смеси фосфина (PH3) с аргоном применяют в производстве полупроводниковых материалов как легирующий агент n-типа.

У нас можно купить смеси фосфина следующих марок

Марка	1	2	3	4	5	6	7	8	9
Объемная доля фосфина, %*	50±5	20±2	15±1	10±1	6±1	3±0,6	1,5±0,5	0,1-0,5	0,005-0,015
Примеси
Углеводороды в пересчете на метан, не более	5 ppm	2 ppm	1,5 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm
Азот, не более	50 ppm	50 ppm	50 ppm	50 ppm	50 ppm	30 ppm	30 ppm	30 ppm	30 ppm
Диоксид углерода, не более	10 ppm	10 ppm	10 ppm	10 ppm	10 ppm	10 ppm	10 ppm	10 ppm	10 ppm
Кислород, не более	2 ppm	2 ppm	2 ppm	2 ppm	2 ppm	2 ppm	2 ppm	2 ppm	2 ppm
Водяные пары, не более	3 ppm	3 ppm	3 ppm	3 ppm	3 ppm	3 ppm	3 ppm	3 ppm	3 ppm
Содержание металлов, менее	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm	1 ppm

Спецификация фосфина и аргона

Показатели качества компонентов стандартных смесей*	Фосфин	Аргон
Основное вещество	99,9998 %	99,998%
Аргон	< 0,5 ppm
Кислород	< 0,1 ppm	< 2 ppm
Азот	< 1 ppm	< 10 ppm
Вода	< 1 ppm	< 3 ppm
Метан	< 0,1 ppm	< 1 ppm
Этан	< 0,1 ppm
Пропан	< 0,1 ppm
Диоксид углерода	< 0,1 ppm	< 0,2 ppm
Оксид углерода	< 0,1 ppm
Водород	< 2 ppm
Арсин	< 0,1 ppm	Аргон
Металлы	< 0,1 ppb

* Возможно использование компонентов иной чистоты, других газов разбавителей, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу

Продукция соответствует ТУ 2114-006-16424433-05

Характеристики фосфина и аргона

Общая характеристика	Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный, взрыво- и пожароопасный при концентрации фосфина выше 0,25%, токсичный.
фосфин	аргон
Молекулярная масса	34 г/моль	40 г/моль	№ ООН	1953
Температура кипения	— 87,4 °C	— 185,9 °C	КЭМ	15 ДЭ
Температура плавления	— 132,5 °C	— 189,6 °C	Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)	2.3 + 2.1
Критическая температура	51,3 °C	— 122,5 °C	Знаки опасности
Критическое давление	6,54 МПа	4,86 МПа