ГАЗОВЫЕ СМЕСИ ФОСФИНА С СИЛАНОМ, ГЕЛИЕМ

МАРКА

Фосфин с силаном

(ТУ 95120-93)

Фосфин с гелием

(ТУ 6-02-1-412-80)

2

3

Объемная доля фосфина, %*

50±5

20±2

50±3

Показатели качествакомпонентов стандартных смесей*

Фосфин

Силан

Гелий

Основное вещество

99,9998 %

99,999 %

99,995%

Аргон

< 0,5 ppm

Кислород

< 0,1 ppm

Ar+O2 < 0,1 ppm

Ar+O2 < 1 ppm

Азот

< 1 ppm

< 2 ppm

< 5 ppm

Вода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

< 5 ppm

Метан

< 0,1 ppm

< 1 ppm

< 1 ppm

Этан

< 0,1 ppm

Пропан

< 0,1 ppm

Углеводороды

C2-C4 < 1 ppm

< 1 ppm

Диоксид углерода

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

CO+CO2 < 2 ppm

Оксид углерода

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

Водород

< 10 ppm

< 1 ppm

Хлорсиланы

< 1 ppm

Арсин

< 0,1 ppm

Аргон

Металлы

< 0,1 ppb

< 1 ppb

Общая характеристика

Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный

фосфин

силан

гелий

Молекулярная масса

34 г/моль

32 г/моль

4 г/моль

№ ООН

1953/2199

Температура кипения

— 87,4 °C

— 111,9 °C

— 269 °C

КЭМ

15 ДЭ

Температура плавления

— 132,5 °C

— 185 °C

Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88)

2.4

Критическая температура

51,3 °C

— 3 °C

-267,95 °C

Знаки опасности

Критическое давление

6,54 МПа

4,28 МПа

0,23 МПа