ГАЗОВЫЕ СМЕСИ ФОСФИНА С СИЛАНОМ, ГЕЛИЕМ

Name: ГАЗОВЫЕ СМЕСИ ФОСФИНА С СИЛАНОМ, ГЕЛИЕМ - производитель ЭкоТек
SKU: 5171429
Price: 100.00 RUB
Availability: InStock

100,00 ₽

Газовые смеси фосфина с силаном или гелием от Экотек идеальны для производства полупроводников. Содержат 50% фосфина и высокую чистоту компонентов. Купить сейчас!

Артикул: 5171429 Категория: Промышленные газы

Описание

ПРИМЕНЕНИЕ:

Газовые смеси фосфина (PH3) с силаном (SiH4), а также газовые смеси фосфина (PH3) с гелиемприменяют в производстве полупроводниковых материалов

МАРКА	Фосфин с силаном (ТУ 95120-93)	Фосфин с гелием (ТУ 6-02-1-412-80)
2	3
Объемная доля фосфина, %*	50±5	20±2	50±3
Показатели качествакомпонентов стандартных смесей*	Фосфин	Силан	Гелий
Основное вещество	99,9998 %	99,999 %	99,995%
Аргон	< 0,5 ppm
Кислород	< 0,1 ppm	Ar+O2 < 0,1 ppm	Ar+O2 < 1 ppm
Азот	< 1 ppm	< 2 ppm	< 5 ppm
Вода	< 1 ppm	< 0,1 ppm	< 5 ppm
Метан	< 0,1 ppm	< 1 ppm	< 1 ppm
Этан	< 0,1 ppm
Пропан	< 0,1 ppm
Углеводороды	C2-C4 < 1 ppm	< 1 ppm
Диоксид углерода	< 0,1 ppm	< 0,1 ppm	CO+CO2 < 2 ppm
Оксид углерода	< 0,1 ppm	< 0,1 ppm
Водород	< 10 ppm	< 1 ppm
Хлорсиланы	< 1 ppm
Арсин	< 0,1 ppm	Аргон
Металлы	< 0,1 ppb	< 1 ppb

* Возможно использование компонентов иной чистоты, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу

Общая характеристика	Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный
фосфин	силан	гелий
Молекулярная масса	34 г/моль	32 г/моль	4 г/моль	№ ООН	1953/2199
Температура кипения	— 87,4 °C	— 111,9 °C	— 269 °C	КЭМ	15 ДЭ
Температура плавления	— 132,5 °C	— 185 °C	Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88)	2.4
Критическая температура	51,3 °C	— 3 °C	-267,95 °C	Знаки опасности
Критическое давление	6,54 МПа	4,28 МПа	0,23 МПа