Синонимы: R14, Tetrafluorocarbon, тетрафторметан, хладон 14
ПРИМЕНЕНИЕ
Хладон-14 в смеси с кислородом применяется для травления поликремния, диоксида и нитрида кремния, а также некоторых металлов и силицидов металлов.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
Марка |
2.2* |
5.0 |
---|---|---|
Содержание основного вещества, % не менее |
99,2 |
99,999 |
Примеси: |
||
Кислород |
Суммарно |
< 2 ppm |
Азот |
< 5 ppm |
|
Оксид углерода |
< 1 ppm |
|
Диоксид углерода |
— |
< 1 ppm |
Суммарная объемная доля высококипящих примесей |
< 0,1% |
— |
Вода |
0,001 % |
< 1 ppm |
Стандарт / ТУ |
ТУ 301-14-78-92, изм. 1, 2, 3, 4, 5 4 |
ХАРАКТЕРИСТИКИ
Общая характеристика |
Бесцветный, негорючий, взрывобезопасный и малотоксичный газ со слабым запахом тетрахлорметана |
||
Молекулярная масса |
88,01 г/моль |
CAS № |
75-73-0 |
№ ООН |
UN1982 |
||
Температура кипения |
— 128,0° C |
КЭМ |
23 |
Температура плавления |
— 183,6° C |
Класс опасности груза |
2.2 |
Критическая температура |
— 45,65° C |
Знаки опасности |
|
Критическое давление |
3,745 МПа |
УПАКОВКА
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~29 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.