СИЛАН (МОНОСИЛАН)

Name: СИЛАН (МОНОСИЛАН)
SKU: 5171420
Availability: InStock

100,00 ₽

Купить СИЛАН (МОНОСИЛАН) от Экотек в разном качестве: от 99,994% до 99,9995%. Идеально для производства диоксида кремния и других кремниевых структур.

Артикул: 5171420 Категория: Промышленные газы

Описание

Синонимы: Silane, Monosilane, силан, тетрагидрид кремния

ПРИМЕНЕНИЕ

Моносилан используется в технологии получения диоксида кремния, нитрида кремния, поликремния, аморфного кремния, а также структур (в том числе и кремний-германиевых) и пленок на их основе.

СПЕЦИФИКАЦИЯ

У нас можно купить моносилан следующего качества

Марка*	4.4	5.0	5.5
Содержание основного вещества, не менее	99,994 %	99,999 %	99,9995%
Водород	< 50 ppm	< 10 ppm	< 1 ppm
Кислород + Аргон	< 2 ppm	< 1 ppm	< 1 ppm
Азот	< 5 ppm	< 5 ppm	< 1 ppm
Диоксид углерода	< 1 ppm	< 0,1 ppm	< 0,1 ppm
Оксид углерода	< 1 ppm	< 0,1 ppm	< 0,1 ppm
Метан	< 1 ppm	< 1 ppm	< 0,1 ppm
Углеводороды C2-C4	< 1 ppm	< 1 ppm	< 1 ppm
Вода	—	< 0,1 ppm	< 0,1 ppm
Хлорсиланы	< 10 ppm	< 1 ppm	< 1 ppm
Металлы	< 1 ppb	< 1 ppb	< 1 ppb
Удельное электрическое сопротивление (n-тип электропроводности)	> 1000 Ом·см	> 1000 Ом·см	> 1000 Ом·см

* Возможно производство другой марки

Продукция соответствует ТУ 24-37-003-16422443-2000 с изм. 1, 2

ХАРАКТЕРИСТИКИ

Характеристики силана

Общая характеристика	Бесцветный, взрыво- и пожароопасный (самовоспламеняется на воздухе), токсичный, газ с резким специфическим запахом.
Молекулярная масса	32,12 г/моль	CAS №	7803-62-5
№ ООН	UN2203
Температура кипения	— 111,9 °C	КЭМ	234
Температура плавления	— 185 °C	Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)	2.1
Критическая температура	— 3 °C	Знаки опасности
Критическое давление	4,28 МПа