SiliconChlor

Тетрахлорид кремния

99,9995 %

(без учета других хлорсиланов)

Другие хлорсиланы

< 0,005 %

(для справки)

Удельное сопротивление эпитаксиальной пленки

> 1200 Ом·см

(для справки)

Хлорметил

< 0,2 ppm

Дихлорметан

< 0,2 ppm

Трихлорметан

< 0,2 ppm

Хлорэтил

< 0,2 ppm

Метан

< 0,1 ppm

Этан

< 0,1 ppm

Пропан

< 0,1 ppm

н-Бутан

< 0,1 ppm

Гексан

< 0,1 ppm

Бензол

< 5 ppm

Алюминий

< 0,3 ppb

Железо

< 2 ppb

Никель

< 0,3 ppb

Медь

< 0,2 ppb

Титан

< 0,3 ppb

Кальций

< 2 ppb

Хром

< 0,3 ppb

Марганец

< 0,1 ppb

Свинец

< 0,2 ppb

Олово

< 0,2 ppb

Сурьма

< 1 ppb

Магний

< 2 ppb

Цинк

< 10 ppb

Фосфор

< 1 ppb

Бор

< 0,1 ppb

Мышьяк

< 0,5 ppb

Общая характеристика

Бесцветная прозрачная дымящая на воздухе, негорючая, коррозионная, высокотоксичная жидкость с резким удушливым запахом.

Молекулярная масса

169,9 г/моль

CAS №

10026-04-7

Давление пара при 20° C

— 0,77 бар изб.

№ ООН

UN1818

Температура плавления

— 68,9° C

КЭМ

234КЭ

Температура кипения

57,6° C

Класс опасности груза

(по ДОПОГ 2015)

8

Критическая температура

233° C

Знаки опасности

Критическое давление

3,75 МПа