ТРЕХХЛОРИСТЫЙ БОР

Name: ТРЕХХЛОРИСТЫЙ БОР
SKU: 5171431
Availability: InStock

100,00 ₽

Треххлористый бор от Экотек, чистота до 99,999%, идеально для плазменно-химического травления алюминия в производстве кремниевых интегральных схем.

Артикул: 5171431 Категория: Промышленные газы

ПРИМЕНЕНИЕ:

Треххлористый бор используется для плазменно-химического травления слоев на основе алюминия при производстве кремниевых интегральных схем

МАРКА	3.0	4.5	5.0
Содержание основного вещества, не менее	99,9%	99,995%	99,999 %
Примеси:
Хлористый метил (CH3Cl), не более	2 ppm	2 ppm
Хлористый метилен (CH2Cl2), не более	2 ppm	2 ppm
Хлор (Cl2), не более	100 ppm	10 ppm	1 ppm
Фосген (COCl2), не более	50 ppm	10 ppm	0,5 ppm
Четыреххлористый кремний (SiCl4), не более	50 ppm	3 ppm	3 ppm
Металлы, в т.ч.
Fe, не более	0,1 ppm	0,1 ppm
Cu, не более	0,01 ppm	0,01 ppm
Ni, не более	0,02 ppm	0,02 ppm
Cr, не более	0,02 ppm	0,02 ppm
Mn, не более	0,01 ppm	0,01 ppm
Co, не более	0,01 ppm	0,01 ppm
Mg, не более	0,02 ppm	0,02 ppm
Al, не более	0,03 ppm	0,03 ppm
Ca, не более	0,02 ppm	0,02 ppm
Zn, не более	0,03 ppm	0,03 ppm
Cd, не более	0,01 ppm	0,01 ppm
Sn, не более	0,02 ppm	0,02 ppm
Pb, не более	0,02 ppm	0,02 ppm
Sb, не более	0,01 ppm	0,01 ppm
Bi, не более	0,01 ppm	0,01 ppm
Mo, не более	0,01 ppm	0,01 ppm

Продукция соответствует ТУ 1-00-07526811-31-93

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА:

бесцветный, негорючий, токсичный, коррозийный газ

Молярная масса	117,3	CAS №	10294-34-5
№ ООН	1741
Температура кипения	12 °C	КЭМ	345 КЭ
Температура плавления	— 107 °C	Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88)	2.3
Критическая температура	178,8 °C	Знаки опасности
Критическое давление	3,87 МПа