СЕРАФЛОР

ПРИМЕНЕНИЕ
Элегаз применяется в электротехнической промышленности в качестве диэлектрика В микроэлектронике гексафторид серы используется как источник фтора для травления в плазме высокой плотности без образования углеродсодержащих продуктов. SF6 используют для травления силицидов металлов (например, вольфрама), нитридов и оксидов на металлических подложках.

СПЕЦИФИКАЦИЯ
У нас можно купить элегаз следующего качества
Марка

3.0

5.0

Содержание основного вещества, не менее

99,9 %

99,999%

Примеси:

Кислород, азот, воздух (суммарно)

< 0,05 %

—

Тетрафторметан

< 0,05 %

—

Вода, %, не более

< 0,0015 %

—

Кислотность в пересчете на фтористый водород

< 0,00003 %

—

Гидролизуемые фториды

< 0,0001 %

—

O2 + Ar

—

< 2 ppm

N2

—

< 3 ppm

CO

—

< 0,5 ppm

CO2

—

< 0,5 ppm

CF4

—

< 0,5 ppm

H2O

—

< 2 ppm

HF

—

< 0,1 ppm

Общие углеводороды по метану

—

< 0,1 ppm

Стандарт / ТУ

ТУ 6-02-1249-83

ХАРАКТЕРИСТИКИ
Свойства элегаза
Общая характеристика

Тяжелый, нетоксичный, негорючий инертный газ без цвета и запаха.

Молекулярная масса

146,06 г/моль

CAS №

2551-62-4

Давление паров при 20° С

20,5 бар

№ ООН

UN1080

Температура кипения

— 63,8° С

КЭМ

23

Температура плавления

— 50,8° С

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.2

Критическая температура

45,6° C

Знаки опасности

Критическое давление

3,76 МПа

УПАКОВКА
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (~56 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.

ТРАНСПОРТИРОВКА
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 «О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением».

РЕКОМЕНДУЕМЫЙ РЕДУКТОР
Стандартный редуктор для чистых газов.

ГАРАНТИЙНЫЙ СРОК ХРАНЕНИЯ
5 лет.