Пентakis(диметиламино)тантал(V)

Пентakis(диметиламино)тантал(V) — это летучий твёрдый прекурсор для осаждения нитрида тантала (TaN) и оксида тантала (Ta2O5) методом химического осаждения из газовой фазы (CVD). Эти соединения находят применение в производстве тонкоплёночных материалов, особенно в микроэлектронике для создания диэлектрических слоев в интегральных схемах. Оксид тантала (Ta2O5) является перспективным материалом для использования в качестве воротного диэлектрика благодаря своим высоким электрическим характеристикам. Плавится при температуре 100 °C (с разложением).