Гидроксид тетраметиламмония 25% (водн.) для микроэлектроники

Описание:

Гидроксид тетраметиламмония (TMAH) — сильное органическое основание, широко применяемое в органическом синтезе как нуклеофильный реагент и катализатор. Раствор обладает высокой растворимостью в воде и спиртах, а также выраженными коррозионными свойствами. Широко используется в микроэлектронике для травления кремния благодаря селективности к кристаллографическим плоскостям. Благодаря стабильности и низкому содержанию металлов, TMAH незаменим при производстве полупроводниковых устройств. При работе с раствором необходимо соблюдать меры предосторожности из-за его токсичности и способности вызывать химические ожоги.

Применение:

Раствор гидроксида тетраметиламмония (25% масс. в воде) применяется как анизотропное травильное вещество для кремния благодаря высокой скорости травления. Также используется в качестве основания для регулировки pH при синтезе мезопористого алюмофосфата гексагональной структуры. В лабораторной практике раствор TMAH служит для депротонирования кислот, алкилирования и катализа реакций конденсации. Применяется в производстве жидкокристаллических дисплеев (LCD) как выравнивающий агент, в аналитической химии как подвижная фаза в ВЭЖХ. НПО ЭкоТек рекомендует использовать раствор строго по назначению с соблюдением техники безопасности.