Трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)тантал(V) 169896-41-7 CVD/ALD

Описание:

Трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)тантал(V) — химическое соединение, содержащее тантал (атомный номер 73) в степени окисления +5. Это координационное соединение с формулой (CH₃)₃CNTa[N(C₂H₅)₂]₃, где атом тантала связан с тремя диэтиламидными группами и одной трет-бутилимидной группой. Соединение представляет собой жидкость желтоватого или коричневатого цвета, чувствительную к воздуху и влаге. Оно демонстрирует высокую летучесть и термическую стабильность, что делает его пригодным для использования в качестве прекурсора в процессах химического осаждения. Применяется в производстве тонких пленок тантала и его соединений для микроэлектроники и защитных покрытий. Хранится и транспортируется в герметичных контейнерах в инертной атмосфере азота или аргона.

Применение:

Трис(диэтиламидо)(трет-бутилимидо)тантал(V) используется как прекурсор в процессах химического осаждения из газовой фазы (CVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD). Он применяется для получения тонких пленок тантала, нитрида тантала, оксида тантала и других соединений тантала в микроэлектронике. Эти пленки служат барьерными слоями, затворными диэлектриками и проводящими слоями в интегральных схемах. НПО ЭкоТек поставляет этот реагент в специальной упаковке, оптимизированной для систем осаждения, обеспечивая высокую чистоту и стабильность при транспортировке и использовании. Соединение также применяется в научных исследованиях для синтеза новых материалов и наноструктур на основе тантала.