Ацетилацетонат олова(II)

Описание:

Ацетилацетонат олова(II) — координационное соединение олова с формулой Sn(CH₃COCHCOCH₃)₂. Это белый или светло-жёлтый кристаллический порошок, устойчивый на воздухе. Вещество демонстрирует высокую термическую стабильность, что делает его ценным прекурсором для нанесения тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения (АСО). Применяется в микроэлектронике для создания функциональных слоёв в транзисторах и других компонентах интегральных схем. Температура плавления составляет ~170°C. Растворяется в органических растворителях (бензол, толуол), не растворяется в воде. Хранить в сухом прохладном месте.

Применение:

Ацетилацетонат олова(II) применяется в технологии атомно-слоевого осаждения (АСО) для создания высококачественных тонких плёнок оксида олова, а также для атомно-слоевого травления. Используется в производстве транзисторов, сенсоров и других компонентов интегральных схем благодаря способности формировать равномерные покрытия с точным контролем толщины. НПО ЭкоТек рекомендует это соединение для нанотехнологических процессов в микроэлектронике и оптоэлектронике.