Тетракис(этилметиламидо)цирконий(IV) CVD/ALD, 99.9%, CAS 175923-04-3

Описание:

Тетракис(этилметиламидо)цирконий(IV) — металлоорганическое соединение циркония, атомный номер 40. Используется как прекурсор в химическом осаждении из газовой фазы для получения тонких пленок оксида циркония. Отличается высокой термической стабильностью и летучестью, что обеспечивает равномерное покрытие подложек. Химическая формула: Zr[N(CH₃)C₂H₅]₄. Подходит для нанесения функциональных слоев в микроэлектронике и оптических устройствах.

Применение:

Тетракис(этилметиламидо)цирконий(IV) поставляется НПО ЭкоТек в виде готовых комплектов для систем осаждения. Упаковка обеспечивает сохранность прекурсора и удобство дозирования. Применяется при создании диэлектрических слоев в полупроводниковых приборах, а также для формирования оптических покрытий с высоким показателем преломления. Совместим с большинством промышленных CVD/ALD реакторов.