Трис(диметиламидо)алюминий(III)

Описание:

Трис(диметиламидо)алюминий(III) — химическое соединение с формулой Al(N(CH₃)₂)₃. Основан на элементе алюминий (атомный номер 13). Это соединение представляет собой летучую бесцветную жидкость, чувствительную к влаге и воздуху. Применяется как реагент в тонком органическом синтезе и в производстве полупроводниковых материалов.

Применение:

Трис(диметиламидо)алюминий(III) используется как прекурсор для получения тонких плёнок нитрида алюминия (AlN) методом металлоорганического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD). Эти плёнки применяются в производстве светодиодов, лазеров и других оптоэлектронных устройств благодаря высокой теплопроводности и электрической изоляции AlN. Дополнительно соединение может использоваться в синтезе других алюминийсодержащих материалов.