Трис(трет-бутокси)силанол

Описание:

Трис(трет-бутокси)силанол — химическое соединение, применяемое в качестве прекурсора для получения кремнезёма и металлосиликатов методом химического осаждения из газовой фазы. Он легко вступает в реакцию с металлоорганическими соединениями, например, с алкиламидами металлов, образуя комплексы, которые затем разлагаются при нагревании с образованием тонких плёнок. Это вещество представляет собой бесцветную жидкость или кристаллическое вещество с характерным запахом. Благодаря своей термической стабильности и реакционной способности, трис(трет-бутокси)силанол широко используется в производстве наноматериалов, микроэлектронике и нанотехнологиях. В НПО ЭкоТек мы обеспечиваем высочайшую чистоту продукта для критически важных применений.

Применение:

Трис(трет-бутокси)силанол применяется для атомно-слойного осаждения (АСО) высококонформных слоёв аморфного диоксида кремния и наноламинатов оксида алюминия. Он реагирует с тетракис(диметиламидо)гафнием (Hf(N(CH3)2)4) в газовой фазе для осаждения плёнок силикатного стекла гафния. Это соединение служит ключевым прекурсором при создании диэлектрических слоёв в полупроводниковых устройствах, обеспечивая равномерное покрытие сложных трёхмерных структур. В НПО ЭкоТек мы разрабатываем решения на основе трис(трет-бутокси)силанола для передовых технологий микроэлектроники, включая производство транзисторов и запоминающих устройств.