ГАЗОВЫЕ СМЕСИ МОНОСИЛАНА С АРГОНОМ, ВОДОРОДОМ
1 000 руб.
Синонимы: Silane gas mixture
ПРИМЕНЕНИЕ
Газовые смеси моносилана (SiH4) применяют для получения эпитаксиальных, поликристаллических и диэлектрических слоев и пленок.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
|
Марка |
А |
Б |
В |
|---|---|---|---|
|
Объемная доля моносилана |
5±0,5% |
10±0,5% |
25±1% |
|
Показатели качества компонентов стандартных смесей |
Моносилан |
Водород |
Аргон | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Основное вещество |
>99,99 % |
>99,999 % |
>99,9999 % |
>99,99999 % |
>99,998 % |
>99,999 % |
|
Кислород |
O2+Ar
|
O2+Ar
|
O2+Ar
|
O2+Ar
|
2 ppm |
2 ppm |
|
Азот |
< 5 ppm |
< 2 ppm |
0,5 ppm |
50 ppb |
10 ppm |
3 ppm |
|
Вода |
- |
< 0,1 ppm |
2 ppm |
0,2 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
|
Метан |
< 1 ppm |
< 0,1 ppm |
0,3 ppm |
30 ppb |
1 ppm |
0,5 ppm |
|
Диоксид углерода |
< 1 ppm |
< 0,1 ppm |
- |
- |
0,2 ppm |
0,2 ppm |
|
Водород |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
- |
- |
2 ppm |
2 ppm |
|
Оксид углерода |
< 1 ppm |
< 0,1 ppm |
- |
- |
- |
- |
|
Хлорсиланы |
< 10 ppm |
< 1 ppm |
- |
- |
- |
- |
|
Углеводороды C2-C4 |
< 1 ppm |
< 1 ppm |
- |
- |
- |
- |
|
Металлы |
< 1 ppb |
< 1 ppb |
- |
- |
- |
- |
Возможно использование компонентов иной чистоты, а также других газов разбавителей по индивидуальному заказу.
Продукция соответствует ТУ 2114-001-16424433-99 с изм. 1, 2
ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
Общая характеристика |
Газовые смеси силана представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный | ||||
|
силан |
аргон |
водород | |||
|
Молекулярная масса |
32 г/моль |
40 г/моль |
2 г/моль |
№ ООН |
UN1954 |
|
Температура кипения |
- 111,9 °C |
- 185,9 °C |
- 273 °C |
КЭМ |
234 К |
|
Температура плавления |
- 185 °C |
- 189,6 °C |
- 259 °C |
Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015) |
2.1 |
|
Критическая температура |
- 3 °C |
-122,5 °C |
- 240 °C |
Знаки опасности |
УПАКОВКА
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (марка А 5,9±0,1м, марка Б 5,9±0,1м, марка В 4,9±01м). Возможно наполнение баллонов другого объема.
