ГАЗОВЫЕ СМЕСИ ФОСФИНА С СИЛАНОМ, ГЕЛИЕМ
1 000 руб.
Газовые смеси фосфина (PH3) с силаном (SiH4), а также газовые смеси фосфина (PH3) с гелиемприменяют в производстве полупроводниковых материалов
|
МАРКА |
Фосфин с силаном (ТУ 95120-93) |
Фосфин с гелием
| |
|
2 |
3 | ||
|
Объемная доля фосфина, %* |
50±5 |
20±2 |
50±3 |
|
Показатели качествакомпонентов стандартных смесей* |
Фосфин |
Силан |
Гелий |
|
Основное вещество |
99,9998 % |
99,999 % |
99,995% |
|
Аргон |
< 0,5 ppm | ||
|
Кислород |
< 0,1 ppm |
Ar+O2 < 0,1 ppm |
Ar+O2 < 1 ppm |
|
Азот |
< 1 ppm |
< 2 ppm |
< 5 ppm |
|
Вода |
< 1 ppm |
< 0,1 ppm |
< 5 ppm |
|
Метан |
< 0,1 ppm |
< 1 ppm |
< 1 ppm |
|
Этан |
< 0,1 ppm | ||
|
Пропан |
< 0,1 ppm | ||
|
Углеводороды |
C2-C4 < 1 ppm |
< 1 ppm | |
|
Диоксид углерода |
< 0,1 ppm |
< 0,1 ppm |
CO+CO2 < 2 ppm |
|
Оксид углерода |
< 0,1 ppm |
< 0,1 ppm | |
|
Водород |
< 10 ppm |
< 1 ppm | |
|
Хлорсиланы |
< 1 ppm | ||
|
Арсин |
< 0,1 ppm |
Аргон | |
|
Металлы |
< 0,1 ppb |
< 1 ppb |
* Возможно использование компонентов иной чистоты, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу
|
Общая характеристика |
Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный | ||||
|
фосфин |
силан |
гелий | |||
|
Молекулярная масса |
34 г/моль |
32 г/моль |
4 г/моль |
№ ООН |
1953/2199 |
|
Температура кипения |
- 87,4 °C |
- 111,9 °C |
- 269 °C |
КЭМ |
15 ДЭ |
|
Температура плавления |
- 132,5 °C |
- 185 °C |
Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88) |
2.4 | |
|
Критическая температура |
51,3 °C |
- 3 °C |
-267,95 °C |
Знаки опасности | |
|
Критическое давление |
6,54 МПа |
4,28 МПа |
0,23 МПа |
УПАКОВКА:
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон
(2м - смеси с гелием, 2,2 кг – смесь 50% с силаном)
Возможно наполнение баллонов другого объема.
ТРАНСПОРТИРОВКА:
В соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением
